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张大成

发布时间:2016-10-27 15:24:34

北京大学微电子学研究院教授,副院长---张大成

张大成,博士,北京大学微电子学研究院教授,副院长、微米纳米加工技术国家级重点实验室副主任;19799月起就读于北京工业大学半导体器件专业。2000年和2005年在北京大学分别获微电子学与固体电子学硕士和博士学位。主要从事微电子、硅MEMS加工技术研究,精通硅工艺及相关设备。

19847月大学毕业后在北京市半导体器件三厂工作,1989年破格获得工程师职称,曾任我国第一条4英寸集成电路生产线主任工程师。

1993年受聘于北京大学微电子工艺实验室,1994年正式调入北京大学。1999年获教授级高工职称,2001年转系列获教授职称,成为北大唯一由实验技术系列转为教学系列的教授。目前主要负责微纳加工技术工艺平台建设、工艺技术开发、用户技术支持等工作。在微电子工艺研发、工艺环境建设、工艺设备采购方面有25年的丰富经验,作为国家科技攻关重大专项大规模集成电路装备和工艺实施方案编写组主要成员,是同行公认的MEMS工艺和微电子装备专家。在国内首次提出以标准工艺和研究Foundry为基础,与器件研究项目开展专业化分工,强强合作的MEMS研发方式;并将所负责项目的成果与先进的研发和管理理念相结合,把北大微电子工艺实验室建成国内第一个能同时进行CMOSBipolar和多种MEMS工艺实验的环境;工艺污染得到有效控制,实验室能力达到每年800多批,比建设初期提高60多倍,远超过国内外同行,达到了世界一流实验室水平,得到来自国外同行的充分肯定。所开发的多套MEMS标准工艺和关键工艺为来自国内外百余家,900多个MEMS器件项目提供技术方案咨询、设计方案优化和加工技术支持;其中压阻标准工艺已成功实现产业化,首次在国内进行了压力计芯片的批量制造,累计生产超过400万芯片。自九五以来连续三个五年计划承担MEMS工艺技术研发相关电子预研项目,所有完成的项目均因应用广泛在验收中获优。自2000年起连续承担863计划中于MEMS工艺研发相关项目,因项目成果显著连续三次得到滚动支持。作为负责人,还承担了国防973、国家973NSFC863等一批与MEMS工艺有关的国家级科研项目,科研经费累计超过2000万元。近年来利用在重点实验室建设和工艺技术开发中积累的经验为工物院905所、兵304厂、航天33所、西北工业大学MEMS工艺实验室、重庆大学MEMS工艺实验室、华中科技大学光电子工艺实验室的建设提供了微纳加工技术超净间建设规划设计和工艺设备配置采购计划咨询。为我们的MEMS传感器基础研究和产业化技术开发做出了重要贡献。

MEMS工艺开发和应用方面的成果硅基MEMS工艺及应用研究2003年北京市科技进步一等奖,2006年国家技术发明二等奖;还先后获教育部科技进步一等奖和二等奖等一批奖励。发表论文20余篇,SCI文章超过10篇,申请工艺相关的发明专利30多项,授权超过20项。

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